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真人投注开户机械工程系IC装备团队承担了样机集成研发等核心科研任务,科技创新成就展

清华成功研发光刻机双工件台掩模台系统α样机


  清华新闻网5月9日电
4月28日,国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”实施管理办公室在清华大学组织召开“光刻机双工件台系统样机研发”项目验收会。专家组对项目任务完成情况予以高度评价,并一致同意该项目通过验收。清华大学副校长薛其坤院士出席。

  光刻机是制造大规模集成电路的核心装备。为将设计图形制作到硅片上,并在2~3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管,光刻机需达到几十纳米甚至更高的图像分辨率。而光刻机两大核心部件之一的工件台,在高速运动下需达到2nm的运动精度。由此奠定了光刻机超精密工件台技术在超精密机械制造与控制领域的最尖端地位,被称为超精密技术皇冠上的明珠。

  项目由清华大学机械工程系朱煜教授担任负责人,以研制光刻机双工件台系统样机为目标,力争为研发65-28nm双工件台干式及浸没式光刻机提供具有自主知识产权的产品级技术。项目联合了华中科技大学、上海微电子装备有限公司和成都工具所等3家单位,下设10个课题。清华大学机械工程系、精密仪器系和材料学院分别承担了其中6个课题,机械工程系IC装备团队承担了样机集成研发等核心科研任务。

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验收会现场。记者 张 宇

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副校长薛其坤致辞。记者 张 宇

  副校长薛其坤在致辞中说,本项目是清华大学牵头承担的最大国家科技重大专项之一。项目启动之初,清华就成立了专项管理办公室,制定了相关管理办法,确保专项任务的顺利实施。在项目研发过程中,学校通过院系协调、整合资源、筹措资金,积极支持项目团队建设洁净实验室等研究条件,从多方面保障了项目正常进程。薛其坤表示,目前全校师生都在认真学习贯彻习近平总书记给清华大学建校105周年的贺信精神,希望项目团队充分领会,积极开展满足国家战略需求的重大科研项目,加快推进科研成果转化,为深度参与国家创新驱动发展战略做出积极贡献。

  国家科技部原副部长曹健林在总结发言中充分肯定了清华双工件台团队的突出贡献,希望项目团队站在新的起点,为我国超精密机电装备的战略突破做出更大的贡献。专家组成员纷纷表示,光刻机作为国家战略必争的装备,研发面临极高的挑战和困难,祝贺清华研发团队对专项的重大贡献。

  验收会上,专家组认真听取了项目完成情况汇报,以及项目样机测试验证报告和专家组的现场测试报告,审阅了验收材料和财务资料。经过充分讨论、质询和评议,专家组对项目完成情况给予了92分的高分,一致同意项目通过任务验收和财务验收。

  验收专家组由相关领域21名技术专家和财务专家组成。专家组认为,研究团队历经5年完成了全部研究内容,突破了平面电机、微动台、超精密测量、超精密运动控制、系统动力学分析、先进工程材料制备及应用等若干关键技术,攻克了光刻机工件台系统设计和集成技术,通过多轮样机的迭代研发,最终研制出2套光刻机双工件台掩模台系统α样机,达到了预定的全部技术指标,关键技术指标已达到国际同类光刻机双工件台的技术水平。围绕双工件台技术完成专利申请231项,已获得授权122项;培养了一支近200人的研发团队,建立了高水平研发平台,为后续产品研发和产业化打下了坚实的基础。

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光刻机双工件台样机。

  据悉,该项目是02专项核心任务光刻机项目群中第一个通过正式验收的项目。项目完成使得我国成为世界少数可以研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域尖端系统的国家之一,将极大推动我国高端光刻机的研制与产品化,是清华大学面向国家战略需求、解决重大科技问题、践行重大科研责任的一次标志性成果。

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部分验收专家在现场考察。段宏宇

  清华大学机械工程学院院长雒建斌院士,以及财务处相关负责人出席验收会。

创新驱动发展 科技引领未来

清华大学多项科研成果参展国家“十二五”科技创新成就展


清华新闻网6月4日电6月1日~7日,以“创新驱动发展,科技引领未来”为主题的国家“十二五”科技创新成就展在北京展览馆举行,清华大学多项科研成果在展览中集中亮相。

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清华大学多项科研成果参展国家“十二五”科技创新成就展。记者 张帆 摄。

本次展览共分“总况、重大专项、基础研究、战略高技术、农业科技、民生科技、区域创新、大众创业万众创新、创新人才、融入全球创新网络”10个展区。在“重头戏”国家科技重大专项展区,由清华大学牵头实施的高温气冷堆核电站重大专项、重点参与的集成电路专项、牵头研制的核高基重大专项成果“非结构化数据管理系统”等重量级成果同时参展,成为高显示度的代表性成果,受到国家领导人和社会公众的重点关注。

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高温气冷堆核电站重大专项展品。记者 张帆

高温气冷堆是国际公认的第四代先进核能系统,具有安全性好、堆芯不会融毁及温度高、用途多等突出技术优势。正在山东荣成建设的全球首座20万千瓦示范工程和后续60万千瓦商业核电站的模型吸引了众多目光,世界上性能最好的球形包覆颗粒燃料元件和电磁轴承主氦风机等由清华大学自主研发的关键技术设备也备受关注。“我国高温气冷堆已突破全部核心技术,山东荣成20万千瓦示范工程在2012年已经开工,目前示范工程的土建和设备都已经基本完成,明年就要并网发电,这是世界首创。下一步要进行复制并商业化推广,目前全球首座商业示范工程进展顺利。我们不仅要着眼于国内市场,还要放到国际市场。”清华大学核研院院长、高温气冷堆核电站重大专项负责人张作义说。

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张作义介绍高温气冷堆。记者 张帆

回顾高温气冷堆的研发过程,张作义深感成果来之不易:“在研究过程中,清华大学多个学科联合进行攻关,产学研密切结合。我们齐心协力为国家作出了应有的贡献,感到无比自豪。此次召开的全国科技创新大会更坚定了我们的信心,要继续为科技强国贡献力量,培养出更多‘顶天立地’的优秀人才。”

在重大专项展区,绚丽多彩的3D影像体验区吸引了不少参观者前来体验。“您可以带上3D眼镜,真切感受我们专项在科技创新方面的成果,这种新媒体技术将大幅缩小普通人与高精尖科技之间的距离,带来全新的视觉享受。”清华大学机械系教授、02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”技术副总师朱煜站在展台前,向参观者生动地介绍相关成果。

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朱煜介绍02专项项目情况。记者 张帆

作为02专项最核心任务光刻机项目群中唯一通过正式验收的成果,清华大学研发的光刻机双工件台系统成功亮相。清华大学研制的双工件台,技术性能指标满足65nm步进扫描干式光刻机性能要求,已达到国际同类光刻机双工件台的技术水平。此次成果展上集中展示了清华双工件台系统的核心关键部件——硅片台超精密运动模块、双频激光干涉测量系统、国内第一个12英寸PVD
E-chuck。“这是一项号称‘精密机械之王’的最尖端技术。我们攻克了无数科研难关,填补了多项国内科技空白。非常感谢国家对我们的信任和学校的大力支持。全国科技创新大会的召开让我们深感振奋,未来将坚持不懈继续创新,做出更多世界顶尖的科研成果。”朱煜说。

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清华大学重大专项展品。记者 张帆

化学机械抛光是极大规模集成电路制造的五大关键技术之一。2013年,清华大学与天津市政府合作成立天津华海清科机电科技有限公司。该公司研发的Universal-300
Plus型抛光机,作为展会中为数不多的整机设备亮相02专项展区。短短三年间,化学机械抛光设备实现了从实验室样机到3台商业化机型的成功销售,是02专项中唯一由高校进行技术转移、并实现成套设备产业化的案例,得到了业内的高度认可。2015年,华海清科获得02专项产业化项目“28-14纳米抛光设备及工艺、配套材料产业化”的支持,继续开发更高性能的产品。

实施国家大数据战略已列入“十三五”规划纲要。“早在2010年,清华大学协同相关单位在核高基重大专项支持下,开展了作为大数据主体的非结构化数据的一体化管理核心技术研究,自主研制非结构化数据管理系统LaUDMS,为抢占和构建大数据战略制高点打下了前期基础。”核高基重大专项基础软件方向实施专家组成员王建民告诉记者。针对非结构化数据“多类型、高维度、弱模式”等特性,课题组提出并实现了“一个模型、一个标准、一个框架”整体技术方案,涵盖采集、提取、存储、计算、分析等非结构化数据的全生命周期管理。

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王建民向观众介绍LaUDMS应用成果。

为了支撑产业发展、推动技术升级,清华大学团队和国家气象中心团队紧密合作,基于核高基专项成果LaUDMS核心构件,研制现代天气业务预报平台MICAPS4.0的近实时数据环境,形成了支持集合预报、格点预报等业务数据处理功能具有自主知识产权的天气预报平台大数据处理环境,使我国在气象大数据处理核心技术层面达到国际领先水平。“目前,新平台覆盖了全国2千多个市县的天气预报业务,数据访问效率提升一百多倍。”王建民说。

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清华大学其他展品及展板。记者 张帆

此外,在基础研究展区,清华大学的实验观测量子反常霍尔效应、暗物质粒子探测器和中国锦屏地下实验室等科研成果分别展出;在战略高技术展区,清华大学的灵巧通信试验卫星、NS-2纳型卫星等成果吸引了众多观众驻足留步。参展的清华教师纷纷表示,全国科技创新大会吹响了建设世界科技强国的号角。通过参加此次展览,进一步增强了创新自信,坚定了建设世界科技强国的信念和决心。

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展厅现场。记者 张帆

本次展览由科技部、国家发改委、财政部和军委装备发展部主办。展区面积约19000平方米,重点展示了基础研究和战略高技术突破、促进产业转型升级和民生改善、带动区域特色产业发展、促进大众创新创业等方面的重大科技成果。展览于6月1日在北京展览馆开幕,将持续到6月7日结束。

编辑:田心

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